【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Testmethodforparticleanalysisinliquids-Part3:Calibrationofopticalparticlecounters
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第3部分:光学粒子计数器校正
【标准号】:DIN50452-3-1995
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1995-10
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:粒子分析;颗粒物质的测定;测量技术;校正;材料试验;浓缩值;浓缩;定义;半导体工艺;光学测量;流量测量
【英文主题词】:concentrationvalues;opticalmeasurement;materialstesting;calibration;measuringtechniques;concentration;particleanalysis;definitions;particulatemattermeasurement;flowmeasurements;semiconductort
【摘要】:Thedocumentdescribesmethodsforthedeterminationofmeasuringdeviationsofparticlesizes,particleconcentrationsandtheresolvingcapacityofopticalparticlecountersbaseduponmeasuringofthelaserlight-scattering.#,,#
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:6P;A4
【正文语种】:德语